不同的VOCS廢氣成分、濃度適用不同的VOCS工業(yè)廢氣處理方式，目前綜合技術成熟性、經(jīng)濟性以及設備維護等多方面因素，應用廣泛的還是活性炭吸附法。但是活性炭吸附法存在適用期限到后廢活性炭洗脫回收成本大、存在污染轉移等缺點，因此新型VOCS工業(yè)廢氣處理的吸附催化燃燒法已在技改中或新建項目中被普遍應用。而低溫等離子凈化法因其后期維護成本低等優(yōu)點正受到越來越多企業(yè)的青睞，但也存在設備投資成本高等問題。相信隨著技術和工業(yè)的發(fā)展，低溫等離子凈化技術會越來越成熟，VOCS工業(yè)廢氣處理設備投資也會隨之下降，屆時將會得到普遍應用。